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申请/专利权人：惠科股份有限公司

摘要：本申请公开了发光元件的巨量转移方法、吸盘结构以及巨量转移系统，涉及半导体显示技术领域，发光元件的巨量转移方法，包括步骤：提供生长基板，并在所述生长基板形成发光元件阵列；驱动吸盘结构从所述生长基板吸取所述发光元件阵列；驱动吸取有发光元件阵列的所述吸盘结构移动至所述驱动基板的上方；以及将所述发光元件阵列对应放入所述驱动基板的灯珠安装槽内，并控制所述吸盘结构释放所述发光元件阵列，以使所述发光元件阵列巨量转移至所述驱动基板上；本申请通过以上设计，提高发光元件巨量转移的效率和精度。

主权项：1.一种发光元件的巨量转移方法，其特征在于，包括步骤：提供生长基板，并在所述生长基板形成发光元件阵列；驱动吸盘结构从所述生长基板吸取所述发光元件阵列；驱动吸取有所述发光元件阵列的所述吸盘结构移动至驱动基板的上方；以及将所述发光元件阵列对应放入所述驱动基板的灯珠安装槽内，并控制所述吸盘结构释放所述发光元件阵列，以使所述发光元件阵列巨量转移至所述驱动基板上；所述驱动吸盘结构从所述生长基板吸取所述发光元件阵列的步骤包括：驱动所述吸盘结构的第一吸盘往远离所述生长基板的方向运动，使所述第一吸盘的内侧壁与所述吸盘结构的第二吸盘的外侧壁贴合，以形成吸盘模组；将吸盘模组与所述发光元件的吸附面相贴，吸取所述发光元件；所述将所述发光元件阵列对应放入所述驱动基板的灯珠安装槽内，并控制所述吸盘结构释放所述发光元件阵列，以使所述发光元件阵列巨量转移至所述驱动基板上的步骤包括：将所述发光元件阵列对应放入所述驱动基板的灯珠安装槽内；利用空气泵往所述第二吸盘和所述第一吸盘之间注入空气，使得所述第二吸盘和所述第一吸盘分离以释放所述发光元件阵列，以使所述发光元件阵列巨量转移至所述驱动基板上；其中，所述第一吸盘和所述第二吸盘采用弹性材料制成；所述吸盘结构包括第一吸盘、第二吸盘和空气泵，所述第二吸盘设置在所述第一吸盘内，所述空气泵设置在所述第二吸盘与所述第一吸盘之间，所述第一吸盘在所述生长基板上的正投影，覆盖所述第二吸盘在所述生长基板上的正投影，所述空气泵可用于抽取空气以及注入空气；所述生长基板上形成的发光元件阵列为正装的发光元件阵列，所述发光元件的第一电极和第二电极设置在所述发光元件远离所述吸盘模组的一侧，所述发光元件的吸附面较光滑。

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权利要求：

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