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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明的基板清洗装置及基板清洗方法具备：与基板抵接来进行该基板的清洗的清洗部件；使清洗部件旋转的部件旋转部；将清洗部件按压于基板的部件驱动部；对清洗部件的按压负荷进行测量的负荷测量部；以及基于负荷测量部的测量值对基于部件驱动部产生的清洗部件的按压量进行控制，以使得清洗部件的按压负荷为设定负荷的控制部。控制部将负荷测量部的测量值与设定负荷进行比较，并重复以下步骤直到差值为第一阈值以下：在差值比第一阈值大且为第二阈值以下的情况下，以第一移动量变更清洗部件的按压量，以使得差值减少；在差值比第二阈值大的情况下，以比第一移动量大的第二移动量变更清洗部件的按压量，以使得差值减少。
主权项：1.一种基板清洗装置，其特征在于，具备：清洗部件，该清洗部件与基板抵接来进行该基板的清洗；部件旋转部，该部件旋转部使所述清洗部件旋转；部件驱动部，该部件驱动部将所述清洗部件按压于所述基板；负荷测量部，该负荷测量部对所述清洗部件的按压负荷进行测量；以及控制部，该控制部基于所述负荷测量部的测量值对基于所述部件驱动部产生的所述清洗部件的按压量进行控制，以使得所述清洗部件的按压负荷为设定负荷，对于M组按压负荷，所述控制部将清洗部件的按压负荷和按压量的对应关系作为基本数据预先存储，对于M组按压负荷中的N组按压负荷，所述控制部基于负荷测量部的测量值，取得清洗部件的按压负荷和按压量的对应关系作为测量数据，所述控制部基于测量数据，分别补正与基本数据中的M组按压负荷对应的按压量，并生成表示关于M组按压负荷的按压负荷和按压量的对应关系的移动量计算用数据，以使得关于基本数据中的N组按压负荷的按压负荷和按压量的对应关系接近关于测量数据中的N组按压负荷的按压负荷和按压量的对应关系，所述控制部基于移动量计算用数据中的按压负荷和按压量的对应关系计算与设定负荷对应的清洗部件的按压量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 基板清洗装置及基板清洗方法
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