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设备和设备的制造方法 

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申请/专利权人:佳能株式会社

摘要:本发明公开了设备和设备的制造方法。一种设备,包括:天线阵列,设置有多条天线,这些多条天线各自包括具有太赫兹波增益的半导体层;以及耦合线,用于在太赫兹波的频率处的天线中的至少两条天线的相互频率锁定,其中,该耦合线连接到分流设备,并且该分流设备与该两条天线中的每条天线的半导体层并联连接。

主权项:1.一种设备,其特征在于,包括:天线阵列,设置有多条天线,所述多条天线各自包括太赫兹波振荡器并且包括具有太赫兹波增益的半导体层;以及耦合线,用于在太赫兹波的频率处的所述天线中的至少两条天线的相互频率锁定,其中,所述耦合线连接到分流设备,并且被配置为进行分流以接地的所述分流设备与所述两条天线中的每条天线的所述半导体层并联电连接,所述半导体层被配置用于太赫兹波的生成或检测,其中,所述多条天线中的每条天线包括:基板;第一导体层,被堆叠在基板上;所述半导体层,电连接到第一导体层;第二导体层,电连接到所述半导体层并且跨所述半导体层面对第一导体层;以及第一电介质层,被形成在第一导体层和第二导体层之间,其中所述多条天线中的每条天线还包括第四导体层,所述第四导体层被形成在第一导体层与第二导体层之间的层中,并且在所述分流设备中,电容器与电阻器被串联连接,在所述电容器中第一电介质层的一部分被夹在第四导体层和第一导体层之间。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 佳能株式会社 设备和设备的制造方法

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