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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：一种形成管芯堆叠件的方法，包括：将第一器件管芯接合至第二器件管芯；将第一器件管芯密封在第一密封剂中；在第二器件管芯上实施背面研磨工艺，以露出第二器件管芯中的贯穿通孔；以及形成位于第二器件管芯上的第一电连接器，以形成封装件。封装件包括第一器件管芯和第二器件管芯。该方法还包括将第一封装件密封在第二密封剂中；以及形成与第一封装件和第二密封剂重叠的互连结构。互连结构包括第二电连接器。根据本申请的其他实施例，还提供了管芯堆叠结构。
主权项：1.一种形成管芯堆叠件的方法，包括：将第一器件管芯接合至第二器件管芯；将所述第一器件管芯密封在第一密封剂中；在所述第二器件管芯上实施背面研磨工艺，以露出所述第二器件管芯中的贯穿通孔；形成位于所述第二器件管芯上的第一电连接器，以形成第一封装件，其中，所述第一封装件包括所述第一器件管芯和所述第二器件管芯；将所述第一封装件密封在第二密封剂中；以及形成与所述第一封装件和所述第二密封剂物料接触的互连结构，其中，所述互连结构包括第二电连接器；所述方法还包括：锯切所述第二密封剂和所述互连结构，以形成第二封装件，其中，所述第二封装件包括所述第一器件管芯和所述第二器件管芯；以及将所述第二封装件接合至封装衬底。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 管芯堆叠件的形成方法及管芯堆叠结构
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