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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明提供一种微型调制干涉光谱仪及其测量方法，其中的光谱仪包括：光源系统、双面正交阶梯微镜、数字微镜阵列和探测器系统；光源系统用于发出一束平行光束入射至双面正交阶梯微镜，平行光束经双面正交阶梯微镜的透射后形成由N×N个光场单元组成的光场阵列，光场阵列中相邻两个光场单元所对应的光束具有预设光程差，数字微镜阵列用于对光场阵列进行选通，使至少两个光场单元对应的两束光束入射至探测器系统发生干涉形成干涉光束，得到干涉图序列，获取平行光束的光谱信息。本发明减小了系统的体积和重量，提高了能量的利用率。该发明提出的微型调制干涉光谱仪结构，具有小型化、轻量化、能量利用率高的特点。
主权项：1.一种微型调制干涉光谱仪，其特征在于，包括：光源系统、双面正交阶梯微镜、数字微镜阵列和探测器系统；所述光源系统用于发出一束平行光束入射至所述双面正交阶梯微镜，所述平行光束经所述双面正交阶梯微镜的透射后形成由N×N个光场单元组成的光场阵列，所述光场阵列中相邻两个光场单元所对应的光束具有预设光程差，所述数字微镜阵列用于对所述光场阵列进行选通，使至少两个光场单元对应的两束光束入射至所述探测器系统发生干涉形成干涉光束，得到干涉图序列，获取所述平行光束的光谱信息；所述双面正交阶梯微镜包括第一表面和第二表面，所述第一表面和第二表面为阶梯式结构；所述第一表面由N个阶梯方向平行于x轴的行阶梯单元组成；所述第二表面由N个阶梯方向平行于y轴的列阶梯单元组成；所述平行光束依次经过所述第一表面和第二表面后，入射至所述数字微镜阵列。
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权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 微型调制干涉光谱仪及其测量方法
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