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申请/专利权人：扬州提迈电子科技有限公司

摘要：本发明公开了一种快速退火炉系统用双腔结构，属于晶圆加工装置领域。本发明中的腔体结构在石英腔体的上下层均设置有加热灯，并通过单独的灯功率控制器实现对各个灯管的功率调节及控制，采用热衬垫辐射率独立控制的方法，能够更好的实现晶圆温度均匀性控制；本发明中的石英腔体的侧面设有散热模块，利用循环水冷却和排风管冷却的方式对石英腔体进行及时的散热，维持石英腔体温度的稳定和均匀性；本发明中利用气缸结构将石英门进行自动的开合，实现腔体的进料口的自动开启和闭合，设计更为自动化，使用方便；本发明中的腔体结构可根据使用需求设定不同的个数在退火炉中，操作方便，大大提升了退火炉的工作效率。

主权项：1.一种快速退火炉系统用双腔结构，其特征在于：包括前后设置的一组前腔（7）和后腔（8），所述前腔（7）和后腔（8）的左右两端分别固定连接有侧安装板（11），所述侧安装板（11）、前腔（7）和后腔（8）之间相互连接形成具有容纳腔的框架，所述框架的内部固定有石英腔体（9），所述石英腔体（9）的内部设有石英托盘（10），所述石英托盘（10）的上方设有碳化硅热衬垫（30），所述碳化硅热衬垫（30）的上表面设有晶圆（23），所述石英腔体（9）的前侧连接有前工艺排气板（20），所述前工艺排气板（20）的表面设置有进料口（26），所述石英腔体（9）的后侧连接有后加热排风盖板（3）和后工艺排气板（4），所述前腔（7）的下部表面固定有若干灯架（22），所述后腔（8）的下部表面固定有若干灯架（22），所述侧安装板（11）的外侧面上部连接有若干灯架（22），位于所述侧安装板（11）侧面的一组灯架（22）之间固定有上灯管（21），所述上灯管（21）位于石英腔体（9）的上方，位于所述前腔（7）和后腔（8）外表面的一组灯架（22）之间固定有下灯管（24），所述下灯管（24）位于石英腔体（9）的下方，所述石英腔体（9）的外侧还设有若干散热模块，所述散热模块包括位于所述上灯管（21）上方的上腔冷却盘（12）、位于所述下灯管（24）下方的下冷却腔（25）、位于侧安装板（11）侧面的侧导热板（5）、位于所述下灯管（24）前侧的前加热排风（15）、位于所述上灯管（21）侧面的侧腔（13），所述上腔冷却盘（12）固定在所述框架的上方，所述下冷却腔（25）固定在所述框架的下方，所述前加热排风（15）固定在前工艺排气板（20）的下方且设置在下灯架（22）的外部，所述前加热排风（15）的下方连接有第二排风管（19），所述侧腔（13）固定在侧安装板（11）外侧面且设置在上灯架（22）的外部，所述侧腔（13）的下方连接有第一排风管（14），所述侧导热板（5）与前腔（7）和后腔（8）之间通过冷却水管（6）连接形成冷却回路。

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