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用于准确抬升磁控管的抬升装置和半导体设备 

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申请/专利权人:深圳市新凯来工业机器有限公司

摘要:本申请涉及一种用于准确抬升磁控管的抬升装置和半导体设备,该抬升装置包括第一驱动机构、传动机构和转接机构,传动机构的一端与第一驱动机构的输出轴传动连接,第一驱动机构驱动传动机构转动;转接机构的一端用于安装磁控管,转接机构的另一端与传动机构的另一端传动连接,且转接机构能够相对于传动机构沿第一方向滑动;转接机构包括丝杠滑块机构,丝杠滑块机构包括丝杠和滑块,丝杠与滑块传动连接,使得丝杠与滑块之间发生传动时,丝杠与滑块之间能够在第一方向上发生位移,磁控管与丝杠或滑块直接或间接连接,磁控管在第一方向上的滑动是在丝杠或滑块的直接或间接带动下进行的。本申请中的抬升装置可以准确的判断磁控管的位置。

主权项:1.一种抬升装置,其特征在于,包括:第一驱动机构;传动机构,所述传动机构的一端与所述第一驱动机构的输出轴传动连接,所述第一驱动机构驱动所述传动机构转动;转接机构,所述转接机构的一端用于安装磁控管,所述转接机构的另一端与所述传动机构的另一端传动连接,使得所述传动机构在其转动时通过转接机构带动所述磁控管转动,且所述转接机构能够相对于所述传动机构沿第一方向滑动,使得与所述转接机构相连的磁控管在所述转接机构的带动下沿第一方向滑动,其中,所述转接机构包括丝杠滑块机构,所述丝杠滑块机构包括丝杠和滑块,所述丝杠与所述滑块传动连接,使得所述丝杠与所述滑块之间发生传动时,所述丝杠与所述滑块之间能够在所述第一方向上发生位移,所述磁控管与所述丝杠或所述滑块直接或间接连接,所述磁控管在所述第一方向上的滑动是在所述丝杠或所述滑块的直接或间接带动下进行的;所述转接机构包括转接套、结构件和第一轴承,所述转接套的一端与所述传动机构的另一端传动连接,所述转接套的另一端用于安装所述磁控管,使得所述传动机构在其转动时通过所述转接套带动所述磁控管转动,且所述转接套能够沿所述第一方向相对于所述传动机构移动;其中,所述第一轴承固定于所述结构件,所述转接套与所述第一轴承的内圈连接,所述结构件与所述丝杠滑块机构中丝杠或滑块连接,所述丝杠或所述滑块能够驱动所述结构件沿所述第一方向移动,以带动所述转接套沿所述第一方向相对于所述传动机构移动;所述丝杠滑块机构包括对称设置于所述传动机构两侧的第一丝杠滑块机构和第二丝杠滑块机构;所述第一丝杠滑块机构包括第一丝杠和第一滑块,所述第一丝杠与所述第一滑块传动连接,在所述第一丝杠与所述第一滑块之间发生传动时,所述第一滑块能够相对于所述第一丝杠在所述第一方向上发生位移,其中,所述第一滑块固定连接于所述结构件,所述第一丝杠与第二驱动机构的输出轴传动连接;所述第二丝杠滑块机构包括第二丝杠和第二滑块,所述第二丝杠与所述第二滑块传动连接,在所述第二丝杠与所述第二滑块之间发生传动时,所述第二滑块能够相对于所述第二丝杠在所述第一方向上发生位移,其中,所述第二滑块固定连接于所述结构件,所述第二丝杠与第三驱动机构的输出轴传动连接;其中,所述第二驱动机构和所述第三驱动机构对称设置于所述第一驱动机构的两侧;所述结构件包括沿所述结构件的厚度方向贯穿所述结构件的第一安装口和第二安装口,所述第一滑块设置于所述第一安装口,所述第二滑块设置于所述第二安装口。

全文数据:

权利要求:

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