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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明关于用于将研磨具推压至晶片等基板的研磨头。此外，本发明关于用于以这样的研磨头研磨基板的研磨装置。研磨头10构成为具备：环状的弹性构件40，该弹性构件用于相对于基板W推压研磨具3；及按压具主体43，该按压具主体具有经由弹性构件40相对于基板W推压研磨具3的按压面44，按压面44具有第一嵌合槽45，该第一嵌合槽供弹性构件40的第一部位41嵌合，第一部位41从按压面44突出，弹性构件40在弹性变形的状态下被挂在按压具主体43，研磨头10通过第一部位41，将研磨具3推压至基板W。
主权项：1.一种研磨头，用于研磨基板，其特征在于，具备：环状的弹性构件，该弹性构件用于相对于基板推压研磨具；及按压具主体，该按压具主体具有经由所述弹性构件相对于所述基板推压所述研磨具的按压面，所述按压面具有第一嵌合槽，该第一嵌合槽供所述弹性构件的第一部位嵌合，所述第一部位从所述按压面突出，所述弹性构件在弹性变形的状态下被挂在所述按压具主体，所述研磨头构成为通过所述第一部位将所述研磨具推压至基板，所述按压具主体构成为：所述按压具主体的与所述按压面为相反侧的背面具有供所述弹性构件的第二部位嵌合的第二嵌合槽，或者所述按压具主体的侧面具有供所述弹性构件的第二部位嵌合的第二嵌合槽和或支承所述弹性构件的突起部。
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