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申请/专利权人:DIC株式会社
摘要:提供:具有对有机溶剂的充分的溶解性、具有低粘度低极性而对微细空间的浸润性优异、能够用于超微细化的布线图案形成的含酚性羟基树脂。具体而言,一种含酚性羟基树脂,其特征在于,含有:选自由下述结构式1所示的化合物1和下述结构式1’所示的化合物1’组成的组中的1种以上的含酚性羟基化合物1。
主权项:1.一种含酚性羟基树脂,其特征在于,含有:选自由下述结构式1所示的化合物1和下述结构式1’所示的化合物1’组成的组中的1种以上的含酚性羟基化合物1, 式1中,R1各自独立地为氢原子、脂肪族烃基、烷氧基、或卤素原子,n各自独立地为0~2的整数, 式1’中,R1各自独立地为氢原子、脂肪族烃基、烷氧基、或卤素原子,n各自独立地为0~2的整数。
全文数据:
权利要求:
百度查询: DIC株式会社 含酚性羟基树脂、碱显影性抗蚀剂用树脂组合物、和抗蚀剂固化性树脂组合物、以及含酚性羟基树脂的制造方法
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