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申请/专利权人：聚束科技(北京)有限公司
摘要：本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；物镜，用于聚焦所述电子束；调节极靴，可移动的设置在所述物镜与待测样品之间；第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述调节极靴在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述物镜的极靴方向朝向所述待测样品，所述第二位置为所述物镜的极靴方向朝向所述电子束的光轴。本发明提供的一种电子显微镜，实现电子显微镜在浸没式电子显微镜和非浸没式电子显微镜的切换，可以观察非磁性待测样品，也可以观察磁性待测样品，并且均能够获得高质量的图像。
主权项：1.一种电子显微镜，其特征在于，包括：电子源，用于产生电子束；物镜，用于聚焦所述电子束；调节极靴，可移动的设置在所述物镜与待测样品之间；第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述调节极靴在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述物镜的极靴方向朝向所述待测样品，所述第二位置为所述物镜的极靴方向朝向所述电子束的光轴；所述物镜包括上极靴和下极靴，所述第一驱动机构驱动所述调节极靴位于第二位置，所述调节极靴与所述下极靴连接；所述上极靴与所述下极靴平行设置，所述调节极靴与所述下极靴的延伸方向一致。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 聚束科技(北京)有限公司 一种电子显微镜
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