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申请/专利权人：深圳新益昌开玖自动化设备有限公司
摘要：本申请属于半导体制备技术领域，涉及一种料片夹爪装置，用于对料槽上的料片进行贴边整理，料片夹爪装置包括固定基座、承载底座、复位件、水平驱动机构、料片夹爪机构；承载底座活动装设于固定基座上；复位件连接于承载底座与固定基座之间，用于驱动承载底座复位；水平驱动机构装设于承载底座远离料槽的一端，用于驱动承载底座在固定基座上滑动；料片夹爪机构装设于承载底座上。本申请提供的技术方案能够提高料槽上料片的排列整齐程度，提高半导体的制备准确性以及生产质量。
主权项：1.一种料片夹爪装置，用于对料槽上的料片进行贴边整理，其特征在于，所述料片夹爪装置包括固定基座、承载底座、复位件、水平驱动机构和料片夹爪机构；所述承载底座活动装设于所述固定基座上；所述复位件连接于所述承载底座与所述固定基座之间，用于驱动所述承载底座复位；所述水平驱动机构装设于所述承载底座远离所述料槽的一端，用于驱动所述承载底座在所述固定基座上滑动；所述料片夹爪机构装设于所述承载底座上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳新益昌开玖自动化设备有限公司 一种料片夹爪装置
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