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申请/专利权人:深圳市卓兴半导体科技有限公司
摘要:本实用新型公开一种抵推结构和立式转塔结构,其中,所述抵推结构安装于转塔外部,所述抵推结构包括安装座、驱动件以及抵推块;驱动件安装于所述安装座;抵推块与所述驱动件连接,所述驱动件用以驱动所述抵推块,以使所述抵推块沿第一方向移动,所述抵推块用以供晶元拾取组件进行取晶动作或进行固晶动作。本实用新型技术方案能够解决立式转塔离心力影响晶元拾取装置不能够高效取晶或固晶的问题。
主权项:1.一种抵推结构,其特征在于,所述抵推结构安装于转塔外部,所述抵推结构包括:安装座;驱动件,安装于所述安装座;以及抵推块,与所述驱动件连接,所述驱动件用以驱动所述抵推块,以使所述抵推块沿第一方向移动,所述抵推块用以供晶元拾取组件进行取晶动作或进行固晶动作。
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