龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海申芯开悦半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种光学定位冷板，包括基板，所述基板上端设有安装臂，安装臂上端水平安装有冷板；所述冷板外侧设有多个安装架，安装架上均设有光学模块，所述冷板环形侧壁上对应光学模块开设有透光孔。本实用新型设计新颖，结构简洁，有效的简化了涂胶显影系统并降低了制造成本，并配合光学模块对晶圆位置的测定并移动至目标位置，有效的提高了晶圆的涂胶显影加工质量。
主权项：1.一种光学定位冷板，其特征在于，包括基板1，所述基板1上端设有安装臂11，安装臂11上端水平安装有冷板2；所述冷板2外侧设有多个安装架3，安装架3上设有光学模块4，所述冷板2侧壁上对应光学模块4开设有透光孔22。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海申芯开悦半导体科技有限公司 一种光学定位冷板
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号