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申请/专利权人：深圳中科精工科技有限公司
摘要：本申请涉及一种搬运夹持装置及生产线，该搬运夹持装置包括丫叉主体、两组气路组件以及夹持机构，丫叉主体包括相连接的主体部和丫叉部，丫叉部间隔设置有两个，丫叉部具有吸附面，气路组件包括顺次连通的通气管、气管接头以及气路通路，两个气路通路分别形成于两个丫叉部上，通气管远离气管接头的一端连通气源，气路通路上连通有多个增速导流件，增速导流件通过吸附面向外界吹出高速气流；夹持机构设置于主体部上，夹持机构包括驱动件，驱动件的驱动端通过传动组件连接两个夹持臂，两夹持臂朝向相互靠近或远离的方向运动且与吸附面间隔设置；以解决为现有晶圆搬运只能吸附晶圆的背面，并且翻转时会有掉片风险的问题。
主权项：1.一种搬运夹持装置，其特征在于，包括：丫叉主体，包括相连接的主体部和丫叉部，所述丫叉部间隔设置有两个，所述丫叉部具有吸附面；两组气路组件，所述气路组件包括顺次连通的通气管、气管接头以及气路通路，两个所述气路通路分别形成于两个所述丫叉部上，所述通气管远离所述气管接头的一端连通气源，所述气路通路上连通有多个增速导流件，所述增速导流件通过所述吸附面向外界吹出高速气流；以及夹持机构，设置于所述主体部上，所述夹持机构包括驱动件，所述驱动件的驱动端通过传动组件连接两个夹持臂，两所述夹持臂朝向相互靠近或远离的方向运动且与所述吸附面间隔设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳中科精工科技有限公司 搬运夹持装置及生产线
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