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申请/专利权人：扬州伟业创新科技有限公司
摘要：本实用新型公开了硅片处理技术领域的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，硅片清洗机壳体的前端面底部设置有超声波机箱，硅片清洗机壳体的左右两侧底部中心处均设置有安装板，安装板的顶部均设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆的顶部均设置有固定板，且固定板的相对面均设置有连接杆；当需要更换不同尺寸的隔板时，只需将清洗架从清洗槽中伸出，然后抽拉出隔板即可对其进行更换处理，这样即可满足不同尺寸硅片的清洗需求；在相邻两组隔板的底部之间设置了支撑网，硅片在放置到相邻两组隔板之间时，硅片的底部是放置在支撑网的顶部，这样硅片的底部与清洗架的底部之间是留有间隙的，这样就可以避免清洗出的物质蓄积在相邻的两组隔板的底部。
主权项：1.一种硅片清洗机用硅片清洗装置，包括硅片清洗机壳体1，其特征在于：所述硅片清洗机壳体1的底部四周均设置有支撑腿2，所述硅片清洗机壳体1的前端面底部设置有超声波机箱3，所述硅片清洗机壳体1的左右两侧底部中心处均设置有安装板4，所述安装板4的顶部均设置有电动伸缩杆5，所述电动伸缩杆5的顶部均设置有固定板，且固定板的相对面均设置有连接杆6，所述连接杆6的相对面之间设置有清洗架7，所述清洗架7的内腔底部从左至右依次设置有隔板8，所述硅片清洗机壳体1内腔底部设置有与清洗架7相配合的清洗槽13，所述清洗槽13的内腔前后端面中部均设置有与超声波机箱3相配合的超声波换能器14，所述清洗架7的底部均匀设置有通孔18，相邻所述隔板8的相对面底部之间均设置有支撑网19，所述隔板8的底部均纵向设置有T形连接杆20，所述清洗架7的内腔底部均从左至右依次纵向设置有与T形连接杆20相匹配的T形滑槽21，所述隔板8均通过相匹配的T形连接杆20与T形滑槽21活动连接清洗架7。
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权利要求：
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