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申请/专利权人：常州捷佳创智能装备有限公司
摘要：本实用新型涉及硅片生产领域，具体涉及一种涂布机构及其涂布机。本实用新型提供了一种涂布机构，包括：涂布盒，所述涂布盒一侧具有一个进液口和若干排气口。通过设置多个排气口，在向涂布盒内进涂布液的过程中，可以加快涂布盒内的排气效率。同时，将储液罐设置在液泵的容腔上方，可以避免涂布盒内会产生气泡。
主权项：1.一种涂布机构，其特征在于，包括：涂布盒（1），所述涂布盒（1）一侧具有一个进液口（11）和若干排气口（12）；所述排气口（12）为三个；所述涂布盒（1）底部设置有涂布头（2），所述涂布头（2）底部为尖头；所述涂布头（2）底部开设有涂布口（21）；所述涂布盒（1）底部还设置有挡板（13），所述挡板（13）设置在所述涂布头（2）前方。
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权利要求：
百度查询： 常州捷佳创智能装备有限公司 一种涂布机构及其涂布机
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