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申请/专利权人：通威太阳能(成都)有限公司
摘要：本实用新型公开了用于断面样品电子束感生电流观测的样品台，包括：导电基座，所述导电基座包括基座部和位于其上的定位部，所述定位部上设有多个定位面，以放置待测样品；导电环，所述导电环套设在导电基座上，所述导电环与导电基座通过绝缘隔离带进行隔离；导电探针，所述导电探针的一端与待测样品相接触，另一端设置在导电环上；信号引出装置，所述信号引出装置的采集端同时接导电基座和导电环，所述信号引出装置的输出端用于连接电子束感生电流信号探测器。本实用新型采用导电环汇聚各个样品的电子束感生电流信号，无需频繁更换信号引出线，且一次性可放置多个断面样品，避免频繁的放真空—装样—抽真空等操作，提高了测试效率。
主权项：1.一种用于断面样品电子束感生电流观测的样品台，其特征在于，包括：导电基座，所述导电基座包括基座部和位于其上的定位部，所述定位部的侧壁形成多个定位面，所述定位面用于放置待测样品；导电环，所述导电环套设在所述基座部上，所述导电环与所述基座部之间设置有绝缘隔离带；导电探针，所述导电探针的一端与所述待测样品相连，另一端设置在所述导电环上；信号引出装置，所述信号引出装置的采集端与所述导电基座和所述导电环相连，所述信号引出装置的输出端与电子束感生电流信号探测器相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 通威太阳能(成都)有限公司 用于断面样品电子束感生电流观测的样品台
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