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申请/专利权人：浙江求是半导体设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种一体式晶舟和炉管设备，此一体式晶舟包括第一板、第二板以及支撑柱。第一板和第二板间隔设置，支撑柱位于第一板和第二板之间，且支撑柱的两端分别连接第一板和第二板；其中，第一板、第二板以及支撑柱围设形成容置腔，容置腔沿容置腔的轴向方向划分为晶圆存储腔和温度保持腔，晶圆存储腔靠近第一板设置，用于容置晶圆；温度保持腔靠近第二板设置，温度保持腔内设置有若干块保温隔板，保温隔板在温度保持腔中横置，通过保温隔板减少热量向第二板下沉。因此，本实用新型实现了提高一体式晶舟的结构可靠性、便于使用和维护的技术效果。
主权项：1.一种一体式晶舟，其特征在于，包括：第一板、第二板以及支撑柱；所述第一板和所述第二板间隔设置；所述支撑柱位于所述第一板和所述第二板之间，且所述支撑柱的两端分别连接所述第一板和所述第二板；其中，所述第一板、所述第二板以及所述支撑柱围设形成容置腔，所述容置腔沿容置腔的轴向方向划分为：晶圆存储腔，所述晶圆存储腔靠近所述第一板设置，用于容置晶圆；温度保持腔，所述温度保持腔靠近所述第二板设置，所述温度保持腔内设置有至少一块保温隔板，所述保温隔板在所述温度保持腔中横置，通过所述保温隔板减少热量向第二板下沉。
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权利要求：
百度查询： 浙江求是半导体设备有限公司 一体式晶舟和炉管设备
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