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申请/专利权人：扬州伟业创新科技有限公司
摘要：本实用新型公开了硅片脱胶技术领域的一种硅片加热脱胶装置，包括脱胶箱，脱胶箱的顶部安装有箱盖，脱胶箱的前侧安装有控制器，脱胶箱的内腔安装有放置框，脱胶箱的侧面安装有进水管和出水管，脱胶箱的内腔底部安装有电热板，脱胶箱的内腔后侧安装有温度传感器，脱胶箱的内腔两侧均安装有超声波发生器，本实用新型通过设置的放置框可以批量放置待脱胶的硅片，通过控制器、温度传感器以及超声波发生器的配合使用，能够将脱胶箱中的水加热到合适的温度，使得硅片上的胶软化，并在热水中加入适量的乳酸或者是柠檬酸溶液，加快胶软化的速度，使得在对多个硅片上的胶进行软化时无需消耗大量的时间，进而提高了脱胶的效率。
主权项：1.一种硅片加热脱胶装置，包括脱胶箱1，其特征在于：所述脱胶箱1的顶部安装有箱盖2，所述脱胶箱1的前侧安装有控制器3，所述脱胶箱1的内腔安装有用于批量放置硅片且为网状结构设置的放置框4，所述脱胶箱1的侧面顶部安装有进水管5，所述脱胶箱1的侧面底部安装有出水管6，所述脱胶箱1的内腔底部安装有电热板7，所述脱胶箱1的内腔后侧安装有温度传感器8，所述脱胶箱1的内腔两侧位于放置框4的下方均安装有超声波发生器9，所述箱盖2的顶部设置有烘干组件10。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 扬州伟业创新科技有限公司 一种硅片加热脱胶装置
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