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申请/专利权人：磬宇(苏州)半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体化学品设备技术领域，特别是涉及一种化学品精准加药装置，阀箱与混合罐之间连接有连接管路，所述阀箱内设有计量罐，计量罐下方设有用于称重的磅秤，阀箱一侧设有电磁阀，磅秤与电磁阀之间电连接，计量罐上设有气动阀，磅秤与气动阀之间电连接，连接管路上设有流量阀，将计量罐通过磅秤调节，可以精准的存储定量的化学品原液，当每批次化学品混合完毕并抽出去后，通过磅秤传感器来感应计量罐里的重量来控制电磁阀的开闭，直接将计量罐中的化学品原液依次加入到混合罐中，并通过流量阀可以保证混合罐各种化学品原液的比例的精准性。
主权项：1.一种化学品精准加药装置，其特征在于，包括阀箱和混合罐，所述阀箱与混合罐之间连接有连接管路，所述阀箱内设有计量罐，所述计量罐下方设有用于称重的磅秤，所述阀箱一侧设有电磁阀，所述磅秤与电磁阀之间电连接，所述计量罐上设有气动阀，所述磅秤与气动阀之间电连接，所述连接管路上设有流量阀。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 磬宇(苏州)半导体科技有限公司 一种化学品精准加药装置
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