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申请/专利权人：日本碍子株式会社
摘要：针对具有13族元素氮化物单晶上的缓冲层、缓冲层上的厚度700nm以下的沟道层、以及沟道层上的势垒层的层叠体，抑制载流子面密度、载流子迁移率的降低。本层叠体1具备：13族元素氮化物单晶基板2，其由13族元素氮化物单晶构成，且具有第一主面2a及第二主面2b；缓冲层3，其设置在13族元素氮化物单晶基板2的第一主面2a上；沟道层4，其设置在缓冲层3上；以及势垒层5，其设置在沟道层4上。沟道层4的厚度为700nm以下，13族元素氮化物单晶基板2的第一主面2a的偏角为0.4°以上1.0°以下。
主权项：1.一种层叠体，其具备：13族元素氮化物单晶基板，该13族元素氮化物单晶基板由13族元素氮化物单晶构成，且具有第一主面及第二主面；缓冲层，该缓冲层设置在所述13族元素氮化物单晶基板的所述第一主面上；沟道层，该沟道层设置在所述缓冲层上；以及势垒层，该势垒层设置在所述沟道层上，所述层叠体的特征在于，所述沟道层的厚度为700nm以下，所述13族元素氮化物单晶基板的所述第一主面的偏角为0.4°以上1.0°以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本碍子株式会社 具有13族元素氮化物单晶基板的层叠体
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