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申请/专利权人：丽瑞德公司
摘要：本发明涉及一种集成有膜20的红外成像微测辐射热计10a，膜20借助于附接到锚钉14的保持臂悬在衬底11上方，红外成像微测辐射热计包括：·支撑层13，其在膜20和保持臂内延伸；·电极16，其配置在支撑层13上并与锚钉14接触，各电极16均在保持臂内延伸；·热阻材料18，其与电极16电接触地配置在膜20内；和·用于保持臂和热阻材料18的至少一个上封装层15；·用于保持臂的侧面封装层33，其配置为与所述保持臂的侧面边缘接触，所述侧面封装层33抵抗基于氢氟酸的蚀刻。
主权项：1.红外成像微测辐射热计10a至10g，其集成有膜20，所述膜20借助于附接到锚钉14的保持臂21悬在衬底11上方地安装，所述微测辐射热计10a至10g包括：·支撑层13，其在所述膜20和保持臂21内延伸；·电极16，其配置在所述支撑层13上并与所述锚钉14接触，各电极16均在所述保持臂21内延伸；·热阻材料18，其与所述电极16电接触地配置在所述膜20内；和·用于所述保持臂21和所述热阻材料18的至少一个上封装层15、19；其特征在于，所述微测辐射热计10a至10g还包括用于所述保持臂21的侧面封装层33，所述侧面封装层33被配置为与所述保持臂21的侧面边缘接触，所述侧面封装层33抵抗基于氢氟酸的蚀刻，从而与所述保持臂21的支撑层13和上封装层15一起形成对基于氢氟酸的蚀刻气密的封装。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 丽瑞德公司 红外成像微测辐射热计
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