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申请/专利权人：山东天岳先进科技股份有限公司
摘要：本发明为一种外延用晶片转运装置及晶片转运方法，属于半导体材料制造领域。其技术方案为，一种外延用晶片转运装置，包括吸盘主体，所述吸盘主体包括托板和盖板，托板与盖板之间间隔一定距离并形成容纳腔，容纳腔的前端开放，容纳腔的后部开设进气口，进气口用于连接气源并向容纳腔中喷气；托板或盖板上还设有晶片吸附结构。本方案的有益效果为，设计了一种吸盘结构，吸盘具有容纳晶片的容纳腔，通过吸附结构将晶片吸附在容纳腔内表面，然后通过进气口向容纳腔内部通气以形成正压空间，防止外部灰尘进入容纳腔，显著提高了晶片转运过程中的防尘能力，能够提高晶片外延层的生成质量。
主权项：1.一种外延用晶片转运装置，包括吸盘主体，其特征在于，所述吸盘主体包括托板（1）和盖板（2），托板（1）与盖板（2）之间间隔一定距离并形成容纳腔，容纳腔的前端开放，容纳腔的后部开设进气口（6），进气口用于连接气源并向容纳腔中喷气；托板（1）或盖板（2）上还设有晶片吸附结构。
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百度查询： 山东天岳先进科技股份有限公司 一种外延用晶片转运装置及晶片转运方法
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