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申请/专利权人：苏州纽姆特纳米科技有限公司
摘要：本发明公开了一种制备硅碳材料的取热式化学气相沉积方法，属于硅碳材料技术领域。该方法包括：于取热式化学气相沉积装置中进行硅碳材料的制备；该装置包括反应器主体和控温系统；反应器主体包括加热区和反应区；控温系统包括用于对加热区进行加热的加热设备、用于对反应区进行换热的取热组件及用于监测反应器主体温度变化的测温元件；制备过程包括：于加热区进行的原料加热过程以及于反应区进行的硅沉积过程和碳沉积过程；硅沉积过程及碳沉积过程均于恒温条件下进行。该方法能够实现恒温硅沉积和恒温碳沉积，制备过程中控温系统的控温方式简单可靠，控温效果佳，能够有效提高硅碳材料的产率，且易于实现硅碳材料产品的安全、高质量稳定制备。
主权项：1.一种制备硅碳材料的取热式化学气相沉积方法，其特征在于，于取热式化学气相沉积装置中进行硅碳材料的制备；所述取热式化学气相沉积装置包括反应器主体和控温系统；其中，所述反应器主体包括加热区和反应区；所述控温系统包括用于加热所述加热区的加热设备、用于对所述反应区进行换热的取热组件以及用于监测所述反应器主体温度变化的测温元件；制备过程包括：于所述加热区进行的原料加热过程以及于所述反应区进行的硅沉积过程和碳沉积过程；其中，硅沉积过程以及碳沉积过程均于恒温条件下进行。
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权利要求：
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