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申请/专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
摘要：本发明提供了一种快速测试ITO靶材晶粒粒度的金相检测方法及其应用，属于检测技术领域。本发明通过粗磨、细磨和抛光对ITO靶材进行打磨，可以得到光滑的表面，采用磷酸溶液作为酸腐蚀剂，能够使ITO靶材晶粒组织显现出来，且不会对其造成损伤；通过在较高的温度下进行腐蚀，可以加快腐蚀速率；通过控制腐蚀的时间，可以使晶粒完全显现，边界清晰，能够在金相显微镜下清晰快速的捕捉晶界图像，进而快速测量得出ITO靶材晶粒粒度，成本较低，实现了低成本对非高纯金属靶材晶粒粒度的检测，适合大范围推广应用。
主权项：1.一种快速测试ITO靶材晶粒粒度的金相检测方法，包括以下步骤：1对ITO靶材进行研磨抛光，得到抛光后的ITO靶材；2将所述步骤1得到的抛光后的ITO靶材放入酸腐蚀剂中进行腐蚀，得到待测样品；3采用金相显微镜对所述步骤2得到的待测样品进行观测，并计算晶粒大小；所述步骤1中研磨抛光包括依次进行的粗磨、细磨和抛光；所述步骤2中酸腐蚀剂为质量浓度15～45％的磷酸水溶液；所述腐蚀的温度为95～100℃，腐蚀的时间为5～30min。
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权利要求：
百度查询： 福建阿石创新材料股份有限公司 一种快速测试ITO靶材晶粒粒度的金相检测方法及其应用
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