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申请/专利权人：中芯热成科技(北京)有限责任公司
摘要：本公开涉及一种自动化旋涂设备，该自动化旋涂设备包括：多个液体暂存腔、振动模块和控制模块；至少部分数量的液体暂存腔与振动模块接触；振动模块与控制模块电连接；液体暂存腔用于存放待滴落液体；控制模块用于控制振动模块带动液体暂存腔振动。如此，通过控制模块控制振动模块带动液体暂存腔振动，使液体暂存腔中液体的溶质分散，保证了液体的稳定性，进而利于提升旋涂质量。
主权项：1.一种自动化旋涂设备，其特征在于，包括：多个液体暂存腔、振动模块和控制模块；至少部分数量的所述液体暂存腔与所述振动模块接触；所述振动模块与所述控制模块电连接；所述液体暂存腔用于存放待滴落液体；所述控制模块用于控制所述振动模块带动所述液体暂存腔振动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯热成科技(北京)有限责任公司 自动化旋涂设备
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