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一种制备栅极的陶瓷基复合材料及其制备方法、陶瓷基复合材料栅极结构及其制作方法和应用 

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申请/专利权人:陕西天策新材料科技有限公司

摘要:本发明公开了一种制备栅极用陶瓷基复合材料,包括该陶瓷基复合材料包括碳纤维和混合树脂,陶瓷基复合材料提升了材料的机械性能;本发明公开了一种制备栅极用陶瓷基复合材料的制备方法,包括将高分子聚合物聚碳硅烷树脂混合,然后加入调节剂,混合得到混合树脂;将混合树脂与碳纤维热压浸渍,得到陶瓷基复合材料,该方法能够提高陶瓷基复合材料的制备效率;本发明还公开了陶瓷基复材栅极结构的制作方法,包括将陶瓷基复合材料由下至上逐层铺设多层后,依次进行高温裂解、致密化处理、表面喷砂处理和抛光处理,得到CC‑SiC复合材料栅极坯板,然后加工栅极离子束通过孔阵和法兰连接孔,得到陶瓷基复材栅极,该制备方法简单,制备操作简单。

主权项:1.一种制备栅极用陶瓷基复合材料,其特征在于,所述陶瓷基复合材料包括碳纤维和混合树脂,其中,所述碳纤维和所述混合树脂的质量比为0.67~3:1。

全文数据:

权利要求:

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