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申请/专利权人：北京大学深圳研究生院
摘要：本申请涉及一种压电薄膜触觉传感器，包括：柔性衬底；位于柔性衬底上的第一压电薄膜结构，包括：第一上电极；第一压电薄膜；第一下电极；位于柔性衬底上的第二压电薄膜结构，包括：第二上电极；第二压电薄膜；第二下电极；其中，第一压电薄膜和第二压电薄膜的切向不同，第一压电薄膜结构和第二压电薄膜结构配置为分别检测施加在柔性触觉传感器上的法向应力和剪切应力。本申请提出的压电薄膜触觉传感器能够实现同时对法向应力和剪切应力的无串扰检测。本申请还提出了一种压电薄膜柔性触觉传感器的制备方法。
主权项：1.一种压电薄膜触觉传感器，包括：柔性衬底；位于所述柔性衬底上的第一压电薄膜结构，包括：第一上电极；第一压电薄膜；第一下电极；位于所述柔性衬底上的第二压电薄膜结构，包括：第二上电极；第二压电薄膜；第二下电极；其中，所述第一压电薄膜和所述第二压电薄膜的切向不同，所述第一压电薄膜结构和所述第二压电薄膜结构配置为分别检测施加在所述柔性触觉传感器上的法向应力和剪切应力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京大学深圳研究生院 一种压电薄膜柔性触觉传感器及其制备方法
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