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申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司

摘要：一种电子束显微镜1，包括电子束源3、束管5、磁性物镜7、物体固持器9、闪烁体布置11、检测器布置13以及电位供应系统15，以便为物体固持器9供应电位U1，为束管7供应电位U2，为物镜5的磁极端35、37供应电位U3，为闪烁体布置11的闪烁体本体77供应电位U4，以及为检测器布置13的光检测器供应电位U5。这里，下式适用：U2–U5≥5000V；U4–U1≥0.1*U2–U1，|U4–U5|≥0.1*U2–U1，以及|U3–U5|≤0.3*U2–U1。

主权项：1.一种电子束显微镜，包括：电子束源3，该电子束源用于产生电子束17；束管5，该束管包括第一端25和第二端29，并且被配置为使得该电子束17在该束管5的第一端25处进入该束管并从该束管5的第二端29出射；磁性物镜7，该磁性物镜用于将该电子束17聚焦在物平面41上，其中，该磁性物镜7包括电磁线圈32和具有两个磁极端35，37的磁轭33，每个磁极端围绕该磁性物镜7的对称轴线39延伸；物体固持器9，该物体固持器被配置为将物体31固持在该物平面41上；具有至少一个闪烁体本体77的闪烁体布置11，该至少一个闪烁体本体被配置为由来自该物平面41的电子产生光，其中，该闪烁体布置11具有至少一个光出射表面87，该至少一个闪烁体本体77产生的光通过该至少一个光出射表面从该闪烁体布置11进入真空空间112；具有至少一个光检测器105的检测器布置13，该至少一个光检测器被配置为将该闪烁体布置11产生的光转换成电信号，其中，该检测器布置13具有至少一个光入射表面111，该光通过该至少一个光入射表面从该真空空间112进入该检测器布置13；以及电位供应系统15，该电位供应系统被配置成为该物体固持器9供应第一电位U1，为该束管5供应第二电位U2，为这些磁极端35，37中的至少一个供应第三电位U3，为该闪烁体布置11的至少一个闪烁体本体77供应第四电位U4、以及为该光检测器105供应第五电位U5，其中，下式适用：U2–U5≥5000V；U4–U1≥0.1*U2–U1|U4–U5|≥0.1*U2–U1，以及|U3–U5|≤0.3*U2–U1其中，U1表示该第一电位，U2表示该第二电位，U3代表该第三电位，U4代表该第四电位，以及U5表示该第五电位。

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