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申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要：本发明提供了一种极紫外辐射发生装置及光刻设备，极紫外辐射发生装置包括腔体；靶材发生器；激光发生器，用于向靶材发射激光并产生带电粒子及极紫外光；设于腔体内的收集器镜，用于沿收集器镜的光轴收集并反射极紫外光；设于腔体内的若干电极板，相邻电极板之间形成有电场，利用电场约束带电粒子及利用电极板收集不同极性的带电粒子；以及，气控部件，用于产生氢自由基，其经过电极板与带电粒子反应形成气体并排出。本发明中，利用电场约束带电粒子的轨迹，使带电粒子被收集至电极板上，再利用氢自由基与带电粒子反应形成气体而排出，同时通入惰性气体在腔体内可形成稳定流场，以阻止带电粒子扩散至收集器镜，从而延长收集器镜的寿命。
主权项：1.一种极紫外辐射发生装置，其特征在于，包括：腔体；靶材发生器，用于向所述腔内发射靶材；激光发生器，用于向所述靶材发射激光并产生带电粒子及极紫外光；设于所述腔体内的收集器镜，用于沿所述收集器镜的光轴收集并反射所述极紫外光；设于所述腔体内的若干电极板，相邻所述电极板之间形成有电场，利用所述电场约束所述带电粒子及利用所述电极板收集不同极性的所述带电粒子；以及，气控部件，用于产生氢自由基，所述氢自由基经过所述电极板与所述带电粒子反应形成气体并排出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 极紫外辐射发生装置及光刻设备
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