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申请/专利权人：罗姆股份有限公司
摘要：本披露提供一种能够提高传感器的灵敏度的加速度传感器。加速度传感器具备衬底、能够在厚度方向上移动地支撑在衬底的第1质量部、以及将第1质量部支撑在衬底的梁部。梁部具有质量比第1质量部小的第2质量部、连结第1质量部与第2质量部的第1弹簧部、以及弹簧常数比第1弹簧部小且连结第2质量部与衬底的第2弹簧部。在第2质量部设置着检测衬底的厚度方向的加速度的传感器元件的可动电极，在衬底设置着传感器元件的固定电极。
主权项：1.一种加速度传感器，具备：衬底；第1质量部，能够在所述衬底的厚度方向上移动地支撑在所述衬底；以及梁部，将所述第1质量部支撑在所述衬底；所述梁部具有：第2质量部，质量比所述第1质量部小；第1弹簧部，连结所述第1质量部与所述第2质量部；以及第2弹簧部，弹簧常数比所述第1弹簧部小且连结所述第2质量部与所述衬底；在所述第2质量部设置着检测所述衬底的厚度方向的加速度的传感器元件的可动电极，在所述衬底设置着所述传感器元件的固定电极。
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