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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本申请属于电容位移传感测试领域，具体公开了一种惯性传感器探头装置及多自由度检测方法，包括检验质量、电容极板和极板框架，还包括与电容极板连接的信号注入及检测电路；检验质量位于极板框架内，电容极板设置于极板框架表面；电容极板包括多组电容极板对，多组电容极板对分别沿x轴、y轴以及z轴设置；电容极板对用于检测检验质量沿x轴、y轴或z轴任一平动自由度发生位移变换，以实现信号传感、信号反馈以及信号注入；信号注入及检测电路用于向电容极板对注入不同频率的载波电压信号，获取检验质量和电容极板对之间因发生相对位移而产生的信号。通过本申请，能够简化极板结构，提高极板对称性进而减小检测误差。
主权项：1.一种惯性传感器探头装置，包括检验质量、电容极板和极板框架，其特征在于，还包括与所述电容极板连接的信号注入及检测电路；所述检验质量位于极板框架内，所述电容极板设置于所述极板框架表面；所述电容极板包括多组电容极板对，所述多组电容极板对分别沿x轴、y轴以及z轴设置；所述电容极板对用于检测所述检验质量沿x轴、y轴或z轴任一平动自由度发生位移变换，以实现信号传感、信号反馈以及信号注入；所述信号注入及检测电路用于向所述电容极板对注入不同频率的载波电压信号，获取所述检验质量和电容极板对之间因发生相对位移而产生的信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 一种惯性传感器探头装置及多自由度检测方法
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