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申请/专利权人：浙江晶阳机电股份有限公司
摘要：本发明涉及晶棒成型领域，涉及一种用于多支晶体生长炉冷却晶棒的冷却装置，本发明包括固定环、进出水结构和冷却盘，冷却盘设置于固定环下端，进出水结构下端与冷却盘连通，冷却盘包括三组向外直径依次递增的冷却环，三组冷却环依次通过水道连通设置，最外层冷却环与中部冷却环之间设有外层晶棒环形冷却通道，最内层冷却环与中部冷却环之间设有内层晶棒环形冷却通道，最内层冷却环的厚度小于最外层冷却环的厚度，阶梯式多级冷却环连接，对不同位置的晶棒达到不同的冷却效果，并在冷却环之间嵌入合理的保温块以及底部与中部的保温块组成的隔热保温装置，使其同时拉制出的多支硅棒直径均匀，减小直径公差，使公差在1.5mm左右。
主权项：1.一种用于多支晶体生长炉冷却晶棒的冷却装置，其特征在于，包括：固定环、进出水结构和冷却盘，所述冷却盘设置于固定环下端，所述进出水结构设置于固定环上端且下端与冷却盘连通，所述冷却盘包括三组向外直径依次递增的冷却环，三组所述冷却环依次通过水道连通设置，最外层冷却环与中部冷却环之间设有外层晶棒环形冷却通道，最内层冷却环与中部冷却环之间设有内层晶棒环形冷却通道，最内层冷却环的厚度小于最外层冷却环的厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江晶阳机电股份有限公司 一种用于多支晶体生长炉冷却晶棒的冷却装置
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