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申请/专利权人：斯迈因光电科技(苏州)有限公司
摘要：本发明涉及一种晶圆检测方法及晶圆检测装置，旨在解决当前在更换吸盘时需要用到相应的工具进行拆卸，较为繁琐的技术问题，包括检测器本体，还包括电驱动轨道、电驱动滑块、连接板、液压缸本体和吸料结构；两个电驱动轨道对称固设于所述检测器本体一侧的横梁架上；两个电驱动滑块分别滑动设于两个所述电驱动轨道滑动端；连接板两端内侧分别与两个所述电驱动滑块连接端固定；液压缸本体固设于所述连接板内侧中间；吸料结构布置于所述液压缸本体的活塞杆外端，本发明具有快速拆卸下损坏的真空吸盘进行更换，能独立更换某个损坏的真空吸盘，针对于某一个真空吸盘更换的优点。
主权项：1.一种晶圆检测装置，包括机体1，所述机体1顶部布置有输送机本体2，所述机体1上布置有检测器本体4，所述检测器本体4内的摄像头与所述输送机本体2对应，所述机体1前端布置有显示屏本体3，其特征在于，还包括：两个电驱动轨道5，对称固设于所述检测器本体4一侧的横梁架上；两个电驱动滑块6，分别滑动设于两个所述电驱动轨道5滑动端；连接板7，两端内侧分别与两个所述电驱动滑块6连接端固定；液压缸本体8，固设于所述连接板7内侧中间；吸料结构9，布置于所述液压缸本体8的活塞杆外端；所述吸料结构9包括：平板901，固设于所述液压缸本体8的活塞杆外端；两个连接杆902，分别布置于所述平板901两侧；其中，所述连接杆902的两端分别布置有定位组件903，所述定位组件903用于快速与连接杆902定位；所述定位组件903上布置有吸附组件904。
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权利要求：
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