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申请/专利权人：深圳米飞泰克科技股份有限公司
摘要：本申请适用于半导体技术领域，提供了测试系统、测试方法、测试设备及存储介质，测试系统包括承载台、晶圆台和控制器；晶圆台用于承载参考晶圆；承载台用于固定待测探针卡，探针与参考晶圆上的焊盘接触时形成电气连接，待测探针卡的探针与参考晶圆的焊盘一一对应排列；控制器用于控制晶圆台移动，在检测出M个电气连接的情况下确定第一位置，在检测出N个电气连接的情况下确定第二位置，根据第一位置和第二位置确定测试结果，M小于N，第一位置反映M个探针与焊盘接触时晶圆台的位置，第二位置反映所有的探针与焊盘接触时晶圆台的位置。本申请可以实现探针卡的水平度测试，保障晶圆测试的测量精度。
主权项：1.一种测试系统，其特征在于，包括承载台、晶圆台和控制器；所述晶圆台，用于承载参考晶圆；所述承载台，用于固定待测探针卡，所述探针与所述参考晶圆上的焊盘接触时形成电气连接，其中，所述待测探针卡包括N个长度相同的探针，N大于1，所述待测探针卡的所述探针与所述参考晶圆的所述焊盘一一对应排列；所述控制器，用于控制所述晶圆台移动，并在检测出M个电气连接的情况下，确定第一位置，在检测出N个所述电气连接的情况下，确定第二位置，并根据所述第一位置和所述第二位置确定测试结果，其中，M小于N，所述第一位置反映M个所述探针与对应的所述焊盘接触时所述晶圆台的位置，所述第二位置反映所有的所述探针与对应的所述焊盘接触时所述晶圆台的位置，所述测试结果用于指示所述待测探针卡的水平度是否符合要求。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳米飞泰克科技股份有限公司 测试系统、测试方法、测试设备及存储介质
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