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电镀隔离装置及水平电镀设备 

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申请/专利权人:上海普达特设备科技有限公司;上海普达特半导体设备有限公司;普达特半导体设备(徐州)有限公司

摘要:本发明提供一种电镀隔离装置及水平电镀设备,电镀隔离装置包括框架、隔离板及波纹调节板,框架包括相连接的底板、侧板及端板且构成空腔,端板上均设置有滚轮安装位,且端板上设置有电镀液出口、电解液进口及电解液出口;隔离板设置于空腔内,隔离板与端板及底板均相连接且将空腔划分为包括相隔离的电解槽及位于两侧的电镀液回流槽,且电镀液回流槽与电镀液出口相连通,电解槽与电解液进口及电解液出口均相连通;波纹调节板的顶面呈波纹状,波纹调节与侧板相连接,且波纹调节板的顶面凸设于侧板的顶面。在进行电镀时,可便捷的进行电镀液的引流,避免接触面的积液问题,提高电镀质量;在进行电解时,可避免串液造成短路的现象。

主权项:1.一种电镀隔离装置,其特征在于,所述电镀隔离装置包括:框架,所述框架包括相连接的底板、侧板及端板且构成具有开口的空腔,所述端板上均设置有滚轮安装位,且所述端板上设置有临近所述底板的电镀液出口及电解液进口,以及位于所述电解液进口上方的电解液出口;隔离板,所述隔离板设置于所述空腔内,所述隔离板与所述端板及所述底板均相连接且将所述空腔划分为包括相隔离的电解槽及位于所述电解槽两侧的电镀液回流槽,且所述电镀液回流槽与所述电镀液出口相连通,所述电解槽与所述电解液进口及所述电解液出口均相连通;波纹调节板,所述波纹调节板的顶面呈波纹状,所述波纹调节与所述侧板相连接,且所述波纹调节板的顶面凸设于所述侧板的顶面。

全文数据:

权利要求:

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