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申请/专利权人：超威电源集团有限公司
摘要：本发明涉及一种LiPON靶材及薄膜的制备方法与应用，LiPON靶材的制备方法包括如下步骤：S1：将纳米级磷酸锂粉体于400～600℃的温度在氮气中进行氮化处理，得到氮化的LiPON粉体；S2：将所述氮化的LiPON粉体进行造粒处理，得到LiPON造粒粉体；S3：将所述LiPON造粒粉体进行成型处理，得到LiPON素坯；以及S4：将所述LiPON素坯在含氮气的气氛中进行烧结处理，得到LiPON陶瓷。本发明一实施方式的LiPON薄膜，相较于现有的电解质薄膜，具有更高的离子电导率。
主权项：1.一种LiPON陶瓷的制备方法，包括如下步骤：S1：将纳米级磷酸锂粉体于400～600℃的温度在氮气中进行氮化处理，得到氮化的LiPON粉体；S2：将所述氮化的LiPON粉体进行造粒处理，得到LiPON造粒粉体；S3：将所述LiPON造粒粉体进行成型处理，得到LiPON素坯；S4：将所述LiPON素坯在含氮气的气氛中进行烧结处理，得到LiPON陶瓷；所述步骤S4中，烧结温度为600～800℃，烧结处理的时间为4～8小时。
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权利要求：
百度查询： 超威电源集团有限公司 一种LiPON靶材及薄膜的制备方法与应用
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