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申请/专利权人：国仪量子技术(合肥)股份有限公司
摘要：本发明公开了一种扫描电镜，扫描电镜包括：基座；旋转组件，旋转组件可转动的设在基座上且限定有样品仓和与样品仓连通的检测口；扫描组件，扫描组件设在旋转组件上且包括可活动的扫描装置；样品支撑装置，样品支撑装置设在样品仓内且包括底座、第一支撑件、第二支撑件和样品台，第一支撑件沿水平方向可活动地设在底座上，第二支撑件与第一支撑件活动配合，样品台可转动的设在第二支撑件上；驱动组件，驱动组件用于驱动第一支撑件和第二支撑件活动、以及样品台和旋转组件转动、以及扫描装置活动。根据本发明实施例的扫描电镜，通过设置可相对于旋转组件活动的样品台，有利于实现对样品的全方位扫描，可以提高对样品的扫描效果，且便于操作。
主权项：1.一种扫描电镜，其特征在于，包括：基座；旋转组件，所述旋转组件可转动的设在所述基座上且限定有样品仓和与所述样品仓连通的检测口，所述旋转组件的转动轴线沿水平方向延伸；扫描组件，所述扫描组件设在所述旋转组件上且包括可活动的扫描装置，所述扫描装置适于通过所述检测口伸入所述样品仓；样品支撑装置，所述样品支撑装置设在所述样品仓内且包括底座、第一支撑件、第二支撑件和样品台，所述第一支撑件沿水平方向可活动地设在所述底座上，所述第二支撑件设在所述第一支撑件上且与所述第一支撑件活动配合，所述第二支撑件的活动方向倾斜于所述第一支撑件的活动方向，所述样品台可转动的设在所述第二支撑件上，用以放置样品，所述样品台的转动轴线沿竖直方向延伸；驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述第一支撑件和所述第二支撑件活动、以及所述样品台和所述旋转组件转动、以及所述扫描装置活动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司 扫描电镜
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