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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：一种加工装置，其具有：卡盘，其保持基板；可动部，其供加工所述基板的加工工具安装；喷洒器，其自所述可动部的外部喷洒对所述可动部进行清洗的清洗液；以及壳体，其收纳所述卡盘、所述加工工具和所述喷洒器。所述喷洒器具有：固定部，其固定于所述壳体的内部；以及旋转部，其旋转自如地支承于所述固定部。所述旋转部包括：喷嘴，其喷射所述清洗液；以及旋转块，其保持所述喷嘴。
主权项：1.一种加工装置，其中，该加工装置具有：卡盘，其保持基板；可动部，其供加工所述基板的加工工具安装；喷洒器，其自所述可动部的外部喷洒对所述可动部进行清洗的清洗液；以及壳体，其收纳所述卡盘、所述加工工具和所述喷洒器，所述喷洒器具有固定于所述壳体的内部的固定部和旋转自如地支承于所述固定部的旋转部，所述旋转部包括喷射所述清洗液的喷嘴和保持所述喷嘴的旋转块，在从与所述旋转块的旋转中心线平行的方向观察时，所述喷嘴的射线相对于所述旋转块的旋转中心线的正交线平行偏移地配置，所述固定部包括：安装板，其安装于所述壳体；固定轴，其配置于所述旋转块的旋转中心线；第1间隙形成部，其在所述固定轴的一端处与所述旋转块之间形成用于供给清洗液的间隙；以及第2间隙形成部，其在所述固定轴的另一端处与所述旋转块之间形成用于供给清洗液的间隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 加工装置
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