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申请/专利权人:星科金朋半导体(江阴)有限公司
摘要:本发明涉及一种芯片的封装结构及其封装方法,属于半导体芯片封装技术领域。其散热盖(3)呈帽状结构,与基板(9)通过AD胶(2)连接,芯片(7)、元器件(8)分别安装在基板(9)上,所述金属共晶层(44)固连芯片(7)与散热盖(3),并铺满凹槽(35)的顶部。本发明通过优化散热盖结构设计,减少了芯片装片时的散热材料和焊料溢出,提高了产品的导热和散热性能。
主权项:1.一种芯片的封装结构的封装方法,其工艺步骤如下:步骤一、提供压制成帽状结构的散热盖(3),其包括帽檐部(31)和帽体部(33);所述帽檐部(31)的下表面与基板(9)连接,所述帽体部(33)呈隆起的内部腔体,在所述帽体部(33)的中央设置凹槽(35);凹槽(35)的尺寸与芯片(7)的尺寸匹配;利用溅射或化学镀的方法在散热盖(3)内侧的凹槽(35)内形成镀金层Ⅰ(41),该镀金层Ⅰ(41)同时布满凹槽(35)的四周槽壁;步骤二、通过喷洒工艺,再在镀金层Ⅰ(41)上喷洒助焊剂Ⅰ(42);步骤三、通提供裁切尺寸不大于凹槽(35)尺寸的高导热金属铟片(43),通过助焊剂Ⅰ(42)将高导热金属铟片(43)固定;步骤四、将装有高导热金属铟片(43)的散热盖(3)放入真空负压回焊炉进行焊接,高导热金属铟片(43)浸润在助焊剂Ⅰ(42)中,经过高温真空负压回焊炉,在助焊剂Ⅰ(42)作用下,高导热金属铟片(43)与散热盖(3)的凹槽(35)内的金属金结合形成金铟共晶层(44),所述金铟共晶层(44)铺满凹槽(35)的底部;步骤五、通过表面贴装技术,将芯片(7)正面的金属凸块蘸取助焊剂后贴装至基板(9)的焊盘的芯片位置上,将元器件(8)贴装至基板(9)的芯片(7)周边的元器件位置,再通过回流焊将芯片(7)、元器件(8)与基板(9)焊接固连;步骤六、使用底部填充胶对芯片(7)底部狭窄间距进行填充;步骤七、利用溅射或化学镀的方法在芯片(7)的背面形成镀金层Ⅱ或镀银层(5);再在镀金层Ⅱ或镀银层(5)的表面喷洒助焊剂Ⅱ(4);步骤八、在基板(9)上划AD胶(2),AD胶(2)设置在元器件(8)的四周;步骤九、通过AD胶(2)将焊接好金铟共晶层(44)的散热盖(3)的帽檐部(31)的下表面与基板(9)四周粘结固连,步骤十、再过回流焊炉,焊接芯片(7)与金铟共晶层(44);所述金铟共晶层(44)浸润在助焊剂Ⅱ(4)中,经过高温真空负压回焊炉,在助焊剂Ⅱ(4)作用下,镀金层Ⅱ或镀银层(5)的金属金或银与金铟共晶层(44)的金属铟再次形成金铟共晶层或金银铟共晶层(45);步骤十一、在基板(9)的背面焊盘上植低温球(1),过回流焊炉焊接低温球。
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