买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：哈尔滨工业大学

摘要：本发明公开了一种暗场共焦显微测量宽度定值方法,包括基于暗场共焦显微镜通过调节成像端的探测孔径获取的下表面准焦反射图像PR和下表面准焦散射图像PS。基于深沟槽暗场共焦显微成像模型计算沟槽下表面准焦强度像中沟槽边缘位置的归一化光强值IE，根据实际测量得到的下表面准焦反射图像PR以及光强值IE确定实际边缘位置值，获得反射探测模式下沟槽宽度定值结果；通过实际测量得到的下表面准焦散射图像Ps，通过高斯拟合沟槽边缘响应峰值位置值，获得散射探测模式下沟槽宽度定值结果；将反射探测模式与散射探测模式下的宽度定值结果加权平均作为沟槽宽度的最终测量值。为暗场共焦显微镜提供一种更为准确合理的沟槽宽度定值方法。

主权项：1.暗场共焦显微测量宽度定值方法,其特征在于,包括：根据实际测量得到的沟槽下表面准焦反射图像PR以及基于边缘遮挡暗场共焦成像模型计算得到的边缘位置光强值IE确定实际边缘位置值，获得反射探测模式下沟槽宽度定值结果；通过实际测量得到的沟槽下表面准焦散射图像Ps以及采用高斯拟合提取沟槽边缘响应峰值位置值，获得散射探测模式下沟槽宽度定值结果；将反射探测模式与散射探测模式下的沟槽宽度定值结果加权平均作为沟槽宽度的测量值；反射探测模式下沟槽宽度定值方法，包括：建立边缘遮挡暗场共焦成像模型，基于边缘遮挡暗场共焦成像模型计算理想沟槽强度像，并对其进行归一化处理,获得理想沟槽归一化强度像；提取理想沟槽归一化强度像轮廓线,获取沟槽边缘与归一化强度像交点的光强值IE；从反射探测模式下实际测量的三维数据中提取沟槽下表面轴向包络曲线,通过质心法确定沟槽下表面准焦位置,根据准焦位置提取出沟槽下表面准焦反射图像并归一化,得到实际测量的沟槽归一化反射强度像；基于实际测量的沟槽归一化反射强度像获取光强值为IE的坐标点,该点对应的横向位置x1，x2,即为实际测量中沟槽边缘位置,确定出反射探测模式下沟槽宽度；散射探测模式下沟槽宽度定值方法，具体包括：将实际测量得到的下表面准焦散射图像Ps归一化处理，截取其中大于0.6的数据点分段采用高斯拟合提取沟槽边缘响应峰值位置值x’1，x’2，进而确定出散射探测模式下沟槽宽度；反射探测模式与散射探测模式下的沟槽宽度定值结果加权平均公式为：Δx＝1-ε×x2-x1+ε×x’2-x’1，其中，ε为暗场共焦显微镜环形照明光内直径与外直径的比值，0＜ε＜1，x’1，x’2为散射探测模式下沟槽边缘响应峰值位置值，x1，x2为反射模式下实际测量的沟槽边缘位置值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工业大学 暗场共焦显微测量宽度定值方法