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申请/专利权人：芯知微(上海)电子科技有限公司
摘要：本发明提供一种薄膜拉姆波谐振器、滤波器及其制造方法，其中薄膜拉姆波谐振器包括，第一基板，第一基板设有第一空腔；压电感应振荡片体，悬挂于第一空腔上方，且压电感应振荡片体的边界位于第一空腔围成的区域内部，压电感应振荡片体包括相对的第一面和第二面，第二面与第一空腔的底面相对；置于空腔内、第一面之上的至少第一组叉指式换能器和与第一组叉指式换能器平行相间的第二组叉指式换能器；第一导电互连片体，一端连接于第一组叉指式换能器，另一端跨越第一空腔延伸至第一基板上方。第二导电互连片体，一端连接于第二组叉指式换能器，另一端跨越第一空腔延伸至第一基板上方。
主权项：1.一种薄膜拉姆波谐振器，包括：第一基板，所述第一基板设有第一空腔；压电感应振荡片体，悬挂于所述第一空腔上方，且所述压电感应振荡片体的边界位于所述第一空腔围成的区域内部，所述压电感应振荡片体包括相对的第一面和第二面，所述第二面与所述第一空腔的底面相对；置于所述第一面之上的至少一第一组叉指式换能器和与所述第一组叉指式换能器平行的第二组叉指式换能器，其中所述第一组叉指式换能器包含多个第一导电叉指，所述第二组叉指式换能器包含多个第二导电叉指；第一导电互连片体，一端连接于所述第一组叉指式换能器，另一端跨越所述第一空腔延伸至所述第一基板上方；第二导电互连片体，一端连接于所述第二组叉指式换能器，另一端跨越所述第一空腔延伸至所述第一基板上方；位于所述压电感应振荡片体与所述第一基板之间的所述第一导电互连片体和或所述第二导电互连片体设有通孔；置于所述第一组叉指式换能器和所述第二组叉指式换能器上表面的第一温度矫正介质层，所述第一温度矫正介质层的膨胀系数小于所述第一组叉指式换能器、所述第二组叉指式换能器的热膨胀系数；与所述第一组叉指式换能器和所述第二组叉指式换能器相对、置于所述第二面的第二温度矫正介质层，所述第二温度矫正介质层的膨胀系数小于所述第一组叉指式换能器、所述第二组叉指式换能器的热膨胀系数。
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