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申请/专利权人：宁波永新光学股份有限公司
摘要：本发明一种可变倍率双远心光刻镜头，从物侧到像侧依次排列有：光焦度为正的前镜组，光焦度为正的后镜组，前镜组从物侧到像侧由依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜组成，后镜组包括可移动透镜，优点在于采用双远心光学系统，通过透镜面型和光焦度的合理搭配，控制镜头内的光线走势，减小像差，实现高分辨率（＞0.35@75lpmm）、低畸变（＜0.01%）、宽焦深（＞480um）、小远心度（≤0.07°）的效果，满足使用需求，通过可移动透镜的前后移动，实现放大倍率的微调（2.99~3.01），提高投影定位的一致性和准确性。
主权项：1.一种可变倍率双远心光刻镜头，从物侧到像侧依次排列有：光焦度为正的前镜组，光焦度为正的后镜组，其特征在于，所述的前镜组从物侧到像侧由依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜组成，所述的第一透镜具有正光焦度，物侧面为凸面，像侧面为凸面；所述的第二透镜具有负光焦度，物侧面为凸面，像侧面为凹面；所述的第三透镜具有正光焦度，物侧面为凸面；所述的第四透镜具有负光焦度，物侧面为凸面，像侧面为凹面；所述的第五透镜具有正光焦度，物侧面为凸面；所述的后镜组包括可移动透镜，所述的可移动透镜具有正光焦度，像侧面为凸面；整个光刻镜头满足：0.09≤NA≤0.1，2.99≤M≤3.01，0.99≤|imgHobjHM|≤1，16＜|fEXPD|2＜25，其中，NA为光刻镜头的物方数值孔径，M为放大倍率，objH为任意视场上的物高，imgH为相对应的像高，f为光刻镜头的焦距，EXPD为光刻镜头的出瞳直径，并且满足：0.02＜|f100f|＜0.04，0.08＜|f200f|＜0.14，0.25＜|f100f200|＜0.35，其中，f为光刻镜头的焦距，f100、f200分别为所述的前镜组和所述的后镜组的焦距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波永新光学股份有限公司 一种可变倍率双远心光刻镜头
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