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申请/专利权人：武汉佰力博科技有限公司
摘要：本发明公开了一种探针机构，包括探针组件，探针组件包括固定部、探针及第一弹性部，探针沿自身轴向可滑动连接于固定部，第一弹性部连接于固定部和探针，用于给探针相对固定部的移动提供弹性阻尼。本发明能有效避免探针划伤待测样品。
主权项：1.一种探针机构，其特征在于，包括：探针组件，包括固定部、探针、第一弹性部及连接部，所述探针沿自身轴向可滑动连接于所述固定部，所述第一弹性部连接于所述固定部和探针，用于给所述探针相对所述固定部的移动提供弹性阻尼；连接组件，包括连接杆、顶针、第二弹性部及限位部，所述连接杆沿轴向开设有阶梯孔，所述连接杆的周向的外壁开设有至少一个第一限位孔，所述第一限位孔与所述阶梯孔相连通，所述连接部相对所述第一限位孔开设有第二限位孔，所述连接部与所述固定部可拆卸连接，所述连接部呈阶梯状，所述连接部的小径段可滑动插设于所述阶梯孔的大径段，所述顶针呈阶梯状，所述顶针的小径段可滑动插设于所述阶梯孔的小径段，所述顶针的大径段可滑动内置于阶梯孔的大径段，所述第二弹性部内置于所述阶梯孔的大径段，所述第二弹性部的一端连接于所述阶梯孔的大径段的底部内壁、另一端连接于所述顶针的大径段，用于推动所述顶针的大径段抵接于所述连接部的小径段，所述限位部插设于第一限位孔和第二限位孔，用于限制所述连接部相对所述连接杆的滑动；三维移动组件，所述三维移动组件连接于所述连接杆，用于驱动所述固定部、探针及第一弹性部沿三维方向移动；其中，所述探针朝远离所述连接部的方向逐渐朝下倾斜设置。
全文数据：
权利要求：
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