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申请/专利权人：歌尔微电子股份有限公司
摘要：本公开公开了一种静电微机电系统换能器、制造方法及电子设备。该静电微机电系统换能器包括：第一电极；相对于第一电极能移动的第二电极；以及位于第一电极和第二电极之间的电介质层，其中，所述电介质层包括标准部分和泄漏部分，所述标准部分的材料是标准电介质材料，所述泄漏部分的材料是泄漏电介质材料。
主权项：1.一种静电微机电系统换能器，包括：第一电极；相对于第一电极能移动的第二电极；以及位于第一电极和第二电极之间的电介质层，其中，所述电介质层包括标准部分和泄漏部分，所述标准部分的材料是标准电介质材料，所述泄漏部分的材料是泄漏电介质材料，其中，泄漏电介质材料是SixNy，它的折射率在2.1至2.5的范围内，它的Si:N的原子比率在1:1.1至1:0.9的范围内，它的体电阻率在106Ω.cm至1010Ω.cm的范围内；以及其中，标准电介质材料是SiNx，它的折射率在1.9至2.1的范围内，它的Si:N的原子比率在1:1.35至1:1.1的范围内，它的体电阻率在1011Ω.cm至1016Ω.cm的范围内。
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百度查询： 歌尔微电子股份有限公司 静电微机电系统换能器、制造方法及电子设备
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