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送液泵及送液方法 

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申请/专利权人:株式会社日立高新技术

摘要:本发明提供一种能够减小送液泵的容积且能够进行脉动小的送液的技术。本公开的送液泵具备:第一柱塞泵,其具有第一柱塞;第二柱塞泵,其具有第二柱塞并与所述第一柱塞泵串联连接;压力传感器,其配置于所述第二柱塞泵的下游;以及控制部,其接受所述压力传感器测定出的液体排出压力的输入,并控制所述第一柱塞的驱动以及所述第二柱塞的驱动,所述控制部在通过所述第一柱塞泵来压缩所述液体时,在以第一速度驱动所述第一柱塞之后且在所述压缩完成之前,减速至比所述第一速度慢的第二速度,与所述第一柱塞的驱动并行地驱动所述第二柱塞而从所述第二柱塞泵排出所述液体。

主权项:1.一种送液泵,其特征在于,包括:第一柱塞泵,其具有第一柱塞,第二柱塞泵,其具有第二柱塞并与所述第一柱塞泵串联连接,压力传感器,其配置在所述第二柱塞泵的下游,以及控制部,其接受所述压力传感器测定出的液体排出压力的输入,并控制所述第一柱塞的驱动和所述第二柱塞的驱动;所述控制部在通过所述第一柱塞泵来压缩所述液体时,在以第一速度驱动所述第一柱塞之后且在所述压缩完成之前,减速至比所述第一速度慢的第二速度,与所述第一柱塞的驱动并行地,驱动所述第二柱塞而从所述第二柱塞泵排出所述液体,并且所述控制部构成为,推定所述第一柱塞泵内的所述液体的压力,在推定出的所述压力为比所述排出压力低的规定的设定值以上的情况下,开始从所述第一速度向所述第二速度的减速。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社日立高新技术 送液泵及送液方法

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