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一种VCP电镀设备用基板固定装置 

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申请/专利权人:江西铭航智能科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种VCP电镀设备用基板固定装置,包括支撑板和防护架,所述支撑板的表面开设有凹槽,且凹槽内放置有基板,所述防护架的内壁固定安装有第二夹持板,所述防护架的表面固定安装有伺服电机,且伺服电机的输出端安装有丝杠,并且丝杠上配合有丝杠套,所述防护架的表面开设有滑槽,且滑槽内滑动连接有滑块,并且滑块的一端与丝杠套的外壁焊接,所述滑块的另一端安装有第一夹持板。本实用新型中,通过设置伺服电机、丝杠、丝杠套、滑块、第一夹持板、第二夹持板、防滑垫和滑槽的相互配合使用,能够利用丝杆螺纹块结构在上板前和下板后对基板进行夹持固定,避免了基板由于太薄导致摆动的问题,降低基板变形的几率,保证后序的生产。

主权项:1.一种VCP电镀设备用基板固定装置,包括支撑板1和防护架4,其特征在于,所述支撑板1的表面开设有凹槽2,且凹槽2内放置有基板3,所述防护架4的内壁固定安装有第二夹持板10,所述防护架4的表面固定安装有伺服电机5,且伺服电机5的输出端安装有丝杠6,并且丝杠6上配合有丝杠套7,所述防护架4的表面开设有滑槽12,且滑槽12内滑动连接有滑块8,并且滑块8的一端与丝杠套7的外壁焊接,所述滑块8的另一端安装有第一夹持板9,且第一夹持板9与第二夹持板10的表面均粘接有防滑垫11,并且两个所述防滑垫11的对立面与基板3的表面贴合,所述防护架4的内部开设有置物腔13,且置物腔13内滑动连接有调节架15,所述调节架15与防护架4的表面均开设有调节孔16,且调节孔16内贯穿安装有固定螺栓14。

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权利要求:

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