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申请/专利权人：嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心
摘要：本申请公开了一种用于镀膜的转载托架，属于沉积镀膜技术领域，转载托架包括：限位框，内侧设有框架口，框架口用于置入板件结构；承载台，连接于限位框，承载台设有延伸至框架口内的承载边，承载边用于承载板件结构的边部。本申请能够最大程度地避免玻璃与传输承载结构大面积接触，能够避免托盘在较高温度下变形导致的表面起伏，进而一定程度上避免镀膜对玻璃非镀膜面的影响，解决玻璃热镀膜工艺中产生绕镀的难题，不再形成多余的沉积表面，防止发生绕镀现象，进而提高玻璃镀膜的产品质量；同时本申请只在玻璃边部与转载托架接触，显著减少碎渣产生，也避免了镀膜过程中的玻璃破损，提高镀膜成功率，另外，还能够提高生产效率，降低生产成本。
主权项：1.一种用于镀膜的转载托架，其特征在于，包括：限位框110，内侧设有框架口111，所述框架口111用于置入板件结构；承载台120，连接于所述限位框110，所述承载台120设有延伸至所述框架口111内的承载边121，所述承载边121用于承载板件结构的边部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心 一种用于镀膜的转载托架
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