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申请/专利权人：广州兴森快捷电路科技有限公司;广州兴森半导体有限公司;珠海兴森半导体有限公司
摘要：本申请公开了一种载具，载具用于承载待加工件，载具配置成沿第一方向移动，以使得待加工件浸入液体中进行加工，载具包括上支撑部以及下支撑部。上支撑部包括沿第二方向间隔布置的至少两个支撑梁，各支撑梁上均设有凹槽。下支撑部包括第一夹持件。其中，上支撑部以及下支撑部沿第一方向间隔布置，在工作状态中，沿第一方向，待加工件包括相对布置的第一端部以及第二端部，第一端部配置成连接于第一夹持件，第二端部配置成抵接各凹槽。通过间隔布置的各凹槽抵接待加工件，以减少在第一端部中载具与待加工件之间的接触面积，以减少在后续加工中，待加工件与载具的接触部分中残留的液体，提升待加工件表面的洁净度。
主权项：1.一种载具，其特征在于，所述载具用于承载待加工件，所述载具配置成沿第一方向移动，以使得所述待加工件浸入液体中进行加工，所述载具包括：上支撑部，所述上支撑部包括沿第二方向间隔布置的至少两个支撑梁，各所述支撑梁上均设有凹槽；下支撑部，所述下支撑部包括第一夹持件；其中，所述上支撑部以及所述下支撑部沿所述第一方向间隔布置，在工作状态中，沿所述第一方向，所述待加工件包括相对布置的第一端部以及第二端部，所述第一端部配置成连接于所述第一夹持件，所述第二端部配置成抵接各所述凹槽。
全文数据：
权利要求：
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