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一种半导体加工用晶棒切片机 

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申请/专利权人:南通国尚精密机械有限公司

摘要:本实用新型公开了一种半导体加工用晶棒切片机,包括底座,底座上设置悬梁架、定位挡板和切刀,悬梁架的底部悬挂设置两排下压缸,下压缸的活塞杆端部设置同一个物料板,物料板内部开设多个送料通道,送料通道只能容纳一个晶棒通过,送料通道上方均设置一个进料口与送料通道连通,物料板的末端设置一对推料气缸,推料气缸的活塞杆端部设置同一个安装板,安装板的前端设置多个推杆,推杆与送料通道一一对应,刀刃纵向设置于送料通道的前端,且与送料通道之间形成切片容纳槽。本实用新型通过设置物料板,并物料板内设置多个送料通道,多个晶棒在送料通道内通过推料气缸同步输送,再通过下压缸可以实现多个晶棒的同步切片,从而提高晶棒的切片效率。

主权项:1.一种半导体加工用晶棒切片机,包括底座,其特征在于:所述底座上设置悬梁架、定位挡板和切刀,所述悬梁架的底部悬挂设置两排下压缸,所述下压缸的活塞杆端部设置同一个物料板,所述物料板内部开设多个送料通道,所述送料通道只能容纳一个晶棒通过,所述送料通道上方均设置一个进料口与送料通道连通,所述物料板的末端设置一对推料气缸,所述推料气缸的活塞杆端部设置同一个安装板,所述安装板的前端设置多个推杆,所述推杆与送料通道一一对应,且嵌入到送料通道内,切刀为L型结构,且刀刃纵向设置于送料通道的前端,所述定位挡板位于送料通道的前端,且与刀刃之间形成切片容纳槽,所述切片容纳槽的下方底座开设出料口。

全文数据:

权利要求:

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